近年來，在半導體工業中，對臭氧的應用越來越多。臭氧被廣泛運用在晶圓清洗和電子元件清洗中。

德國ANSEROS安索羅斯公司研發的臭氧發生器MEGAGEN系列COM-VD，在半導體加工等方面發揮很大作用。

/ Anseros 安索羅斯 /

ANSEROS公司是一家專業的臭氧應用技術開發和生產臭氧發生、檢測相關產品的德國企業，主要產品有臭氧氣相分析(濃度檢測)儀、臭氧液相分析儀、臭氧發生器、橡膠臭氧老化機、臭氧化空氣應用設備等。其臭氧分析儀和臭氧老化箱技術處于世界領先地位。

德國ANSEROS公司先進的技 術和質量過硬產品已經銷往70多個國家。克勞斯。諾爾馬赫教授獲得2005年中國國家友誼獎。

（注：翁開爾上海公司為德國ANSEROS安索羅斯公司代理）

產品優勢

ANSEROS安索羅斯臭氧發生器COM-VD系列是專門為獲得高濃度臭氧而設計的。在低氧氣消耗量的氣相中，臭氧最高濃度可達到 300g O3/Nm3。

MEGAGEN系列臭氧發生器COM-VD可以與ANSEROS安索羅斯AOPR反應器配合使用，其質量轉移效果非常好，可以將大量的臭氧轉換成液相，從而達到強力去除COD的目的。

臭氧發生器COM-VD系列 產品特點

·超高臭氧濃度

·低耗氧量

·低功耗

·相關反應性高

·低AOPR（高級氧化工藝）能耗

·不產生顆粒物

·質量保證

臭氧發生器COM-VD系列 產品應用

·研究與開發

·半導體加工

·超純水處理、污水處理、飲用水處理、工業水處理

·水殺菌

·試驗裝置

·食品、藥品生產

臭氧發生器在半導體晶圓清洗上的應用

晶圓清洗是目前半導體生產線上重要、嚴謹的工序之一。在很多的清洗工序中，只要有一道工序達不到要求，就會導致芯片報廢和流程不順暢。

傳統的RCA清洗法需要大量的化學試劑，帶來了成本的增加以及均勻性不一致的問題。而臭氧是一種具有較強氧化性的氣體，把它溶解在超純水中，噴灑在晶圓表面，可以將表面的有機污染物氧化為二氧化碳和水，非常容易就可以去除表面有機物，同時還會在晶圓表面形成一層致密的氧化膜。

因此，德國ANSEROS安索羅斯臭氧發生器非常適合運用在半導體，特別是晶圓清洗上。也能適用于污水處理、 飲用水處理 、工業水處理等多個領域。

作為國內老牌檢測儀器代理商，翁開爾（上海）公司致力于引進國外先進的檢測技術以及產品。一直以來與德國臭氧老化設備生產企業：ANSEROS安索羅斯公司緊密合作，力求為行業客戶提供完善的產品解決方案。

客戶體驗中心

今年6月，翁開爾（上海）二樓客戶體驗中心全面升級、正式啟用。

未來，這里將有望承辦開展各項行業內專題研討會、展會等，并迎接海外供應商的蒞臨。充分展現翁開爾公司作為世界知名化工原料 & 檢測儀器代理商的品牌形象，進一步彰顯翁開爾的品牌價值。

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翁開爾公司創立于1925年，我們在實驗室檢測、水性化工方面擁有豐富的經驗。

我們把世界優秀的儀器設備、化工原材料介紹到中國，把專業的服務提供給用戶。

我們致力于成為行業的專家，以滿足客戶多方位的要求。